弊社設立以来、共に歩んできたドイツの老舗ノズルメーカー『レヒラー』は約45000種類以上のスプレーノズルやアクセサリーを保持している世界でも3本の指に入るノズルメーカーです。
今回はその中でも半導体向けスプレーノズルを紹介したいと思います。
半導体装置でスプレーノズルを使う場所は洗浄、エッチングです。
※特に多いのがPCB装置向けスプレーノズルです。
特に半導体業界向けスプレーノズルは材質が非常に重要な役割を果たします。
レヒラー社はその用途に対応すべく材質『PVDF（ポリフッ化ビニリデン）』を採用しています。
スプレーノズルの噴霧形状も様々なものを用意しています。
・縦軸型フルコーンノズル
・横軸型フルコーンノズル
・フラットジェットノズル
・タンタイプノズル
そしてアクセサリーも充実しています。
この他にもメモスプレーという『スプレーする方向を位置決め出来る意味のメモリーからもじった』ノズルとクランプ一体型も御座います。
そして乾燥工程には弊社のベストセラーであるマルチチャンネルジェットシリーズがあります。
また、メーカーがドイツにあるので欧州の名立たる半導体装置メーカーで採用して頂いています。

上記に述べた商品名称だけでも6種類ありますが、これに流量、スプレー角度、ネジ径（若しくはクランプ径）等詳細を決めなければなりませんが、レヒラー社は多くの商品で対応可能です。

レヒラー社とは別に弊社ですが、昨今ブームになりつつある超音波スプレーノズルもご用意しています。
ピンポイントタイプの超音波スプレーノズルを要するソニア社。
空気搬送治具と超音波スプレーノズルが付随しているソノシス社（旧レヒラー社商品）。
これらもCVD装置、フラックス塗布などにも採用されています。

半導体不足と言われて月日は過ぎています。
まだまだ最先端技術や汎用品半導体不足が続いています。
スプレーノズルの件で何かお困りでしたら、弊社技術スタッフまでお問合せ下さい。
ウエブでの対応も可能です。