超音波(メガソニック)洗浄スプレーノズル
2025年末頃から多くの引合を頂戴しているソノシス社製超音波洗浄スプレーノズル。
国内では「枚葉洗浄用スポット型シャワー高周波超音波洗浄機」とか「流水式超音波洗浄機」と呼称されています。
今月から国内でもデモ機貸出(ドイツ出荷元)がスタートします。
その第一弾として某社へ貸出をスタートしました。
対象商品は下記のようなデュアルタイプです。

超音波洗浄装置(スプレータイプ)
勿論、国内でも優れたメーカーがありますが、そのメーカーと比較して何が凄いのか?
生成AIに訪ねてみました。
その結果
1. 周波数ラインナップが世界トップクラス(600kHz〜9MHz)
• 低周波〜超高周波まで幅広く対応
• 微細粒子除去に強く、先端半導体・マスク洗浄に最適
• 競合が最大3MHz前後なのに対し、9MHzまで標準対応
2. 複数周波数の“同時照射”が可能(ダブル/トリプルノズル)
• 1MHz+3MHz、5MHz+9MHzなどの複合照射が可能
• 粗粒子〜微粒子まで一度に除去
• 工程短縮・歩留まり改善に直結
• 競合にはない独自の強み
3. 最大270W/cm²の高出力で洗浄力の調整幅が広い
• デリケート基板向けの低出力洗浄から
• 頑固な汚れ向けの高出力洗浄まで
• 1台で幅広い条件に対応でき、装置設計の自由度が高い
4. ノズル素材の選択肢が豊富(PTFE / PCTFE / SUS / 石英)
• 薬液対応、耐久性、洗浄対象に合わせて最適化可能
• 特に石英ノズルは高純度プロセスに強い
• 競合よりも素材バリエーションが多い
5. スポット洗浄+広幅シャワー洗浄の両方に対応
• スポットノズル:精密ポイント洗浄
• シャワーノズル:最大670mm幅の面洗浄
• FPD・大型マスクなどの広面洗浄に強い
• 競合は基本的にスポットのみ
6. ノズル構成が多様(シングル/ダブル/トリプル)
• 洗浄対象や装置構成に合わせて柔軟に選択可能
• 多周波・多出力の組み合わせで最適化が容易
7. 半導体以外の幅広い産業で採用実績
• 半導体ウェーハ
• リソグラフィマスク
• LCD・FPD
• MEMS
• 光学部品
• 医療機器
• センサー
→ 汎用性が高く、装置メーカーからの評価も高い
8. 欧州メーカーならではの高い品質管理と信頼性
• ドイツ製造による高い精度と耐久性
• 長寿命でメンテナンス性が良い
• 安定稼働が求められる生産ラインに適合
9. カスタム対応力が高い
• 周波数、出力、ノズル形状、素材など柔軟にカスタム可能
• 装置メーカーの要求に合わせた最適設計がしやすい
こう多くの「優れた点」があるとデモ機も使ってみたいですよね?
是非一度お問合せください。
また、デュアルノズルって何?という方はこちらの動画を見てみてください。
よろしくお願いします。