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マイクロエッチングガラス

マイクロ流体やマイクロエレクトロメカニカル（MEMS）デバイスの分野では、ガラスなどの基板にミクロン単位のエッチングを施すことが行われています。
スプレーノズルは、基板の洗浄、フォトレジストの塗布、エッチング液や懸濁液の基板への噴霧の3つの工程で利用されます。
ソニア社製Sonoalloyスプレーノズルは、フッ酸、リン酸、塩酸、硝酸、硫酸などのエッチャントに推奨されています。
バッファードオキサイドエッチ（BOE）、ピラニア、ベースピラニア、RCA-1、RCA-2、アクアレギアなど、その他のエッチング液についても、ご要望に応じて異なるノズルチップ材を使用することが可能です。
フッ素樹脂製ノズルは、フッ素樹脂製のエアアシストスプレーシェイパーと組み合わせて、エッチング液の噴霧を集中させたり、方向性を持たせたりすることができます。

Sonoalloy スプレーノズル（インコネル725製）は、腐食性の強い溶液を使用する用途に、最新の冶金技術を駆使して開発されました。
フッ化水素酸、過酸化水素水、塩酸、硝酸、その他の腐食性の強い化学薬品は、ノズルを保護するためのコーティングなしでこのアトマイザーから噴射することが可能です。
ノズルには冷却ポートが標準装備されており、液滴を集中させたり広げたりするためのフッ素樹脂製スプレーシェイパーも用意されています。

超音波スプレーノズルの原理

超音波スプレーノズルの原理は、ピエゾセラミックの振動による超音波がノズル（アトマイザー）部に伝わり、そこで液体膜を振動させて、きめ細かい粒子を形成し噴霧します。
空気搬送治具を用いる事で、液体を自由自在に塗布させる事も可能です。
https://www.youtube.com/playlist?list=PLFwJbGQJIS9JyMlESI1AZOu1ZTutN21T3

機種に限りは御座いますが、デモ機も用意しております。
本件に対するご質問、お問合せは弊社までご一報下さい。