4月中旬に台湾出張がありました。
主な目的はGPE社へ訪問、そして彼らの販売先であるプリント基板製造装置メーカーの訪問でした。
まずは今回訪問したGPE社のブロワーについて列記します。
・ブロワーは非常に小型
・インバーター付き
・騒音という騒音は殆どなし
・一番びっくりしたのは振動が殆どない
・ダイレクトベルトなので消耗品がベアリングのみ
・吐出されるエアーが空冷である（冷たくはありませんが、全く熱くありません）
これらの条件からシビアな洗浄を行う半導体装置に組み込んでも振動、音、小型と三拍子なので問題ないと思いました。
また、一番驚いたのは某社のエアーナイフを使った時の風速が約300m/minsだった事です。
※限定公開にしますが、参考動画がこちらとなります。
これなら複数本のエアーナイフの仕様も可能だと思いました。
その為か参考例として100mあった洗浄装置の設計を70mまで短くする事が出来、省エネのみならず、設備費用の削減も成功したそうです。
今後、このブロワーがプリント基板製造装置用乾燥ブロワーの『標準』になっていく可能性が高くなりそうです。

GPEターボブロワー

また、話の流れでウエハーの研磨後に発生したダストを吸引するのにこのブロワーが使われているようです。

余談ですがどうしても何故そんなに風量が作れ、振動がないのか気になったのですが…ここのメーカーの主体の仕事がタービンのメンテナンス、タービン用の羽根の製造がメインのようです。

ターボブロワー用羽根

その為エアーを作り出す羽根に特長がありそれを活用したものがブロワーになったのだと思いました。

6月のJPCA Showを見に来日するそうなので、また情報交換が出来ればと思っています。
次回はプリント基板製造メーカーへ行った時のお話をさせて頂きます。

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